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蔡司三坐標(biāo)CAPTUM測(cè)量機(jī)，不僅繼承了蔡司一貫的高精度、高穩(wěn)定性傳統(tǒng)，更在多個(gè)方面實(shí)現(xiàn)了創(chuàng)
測(cè)量范圍[dm] 9/15/7 E0 = 0.3 μm
蔡司技術(shù)的入門級(jí)水平
測(cè)量范圍[dm] 可達(dá)16/42/10 E0自0.5 μm起
測(cè)量范圍[dm] 5/5/5 E0 = 0.7 μm
測(cè)量范圍[dm] 可達(dá)20/42/15 E0自1.2 μm起
測(cè)量范圍[dm] 可達(dá)12/24/10 E0自1.5 μm起